Биомедицинская инженерия и электроника
Электронный научный журнал

Технические науки
ОПТИМИЗАЦИЯ ОЧИСТКИ КВАРЦЕВЫХ ТРУБ В ТЕХНОЛОГИИ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ
Литвиненко В.Н. 1, Дощенко Г.Г. 2, Самойлов Н.А. 3

1. Херсонский национальный технический университет
2. Херсонская государственная морская академия
3. Институт физики полупроводников НАН Украины


Пристатейный список:


Библиографическая ссылка

Литвиненко В.Н., Дощенко Г.Г., Самойлов Н.А. ОПТИМИЗАЦИЯ ОЧИСТКИ КВАРЦЕВЫХ ТРУБ В ТЕХНОЛОГИИ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ // Биомедицинская инженерия и электроника. – 2013. – № 2;
URL: www.es.rae.ru/biofbe/ru/185-927 (дата обращения: 22.12.2024).


Код для вставки на сайт или в блог

Просмотры статьи

Сегодня: 794 | За неделю: 794 | Всего: 1885


Комментарии (0)


Сайт работает на RAE Editorial System