Технические науки
ОПТИМИЗАЦИЯ ОЧИСТКИ КВАРЦЕВЫХ ТРУБ В ТЕХНОЛОГИИ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ
Литвиненко В.Н. 1, Дощенко Г.Г. 2, Самойлов Н.А. 3
1. Херсонский национальный технический университет 2. Херсонская государственная морская академия 3. Институт физики полупроводников НАН Украины
Пристатейный список:
Библиографическая ссылка
Литвиненко В.Н., Дощенко Г.Г., Самойлов Н.А. ОПТИМИЗАЦИЯ ОЧИСТКИ КВАРЦЕВЫХ ТРУБ В ТЕХНОЛОГИИ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ // Биомедицинская инженерия и электроника. – 2013. – № 2;
URL: www.es.rae.ru/biofbe/ru/185-927 (дата обращения:
22.12.2024).
Код для вставки на сайт или в блог
Просмотры статьи
Сегодня: 792 | За неделю: 792 | Всего: 1883
Комментарии (0)
|