Биомедицинская инженерия и электроника
Электронный научный журнал
Вход в Личный портфель
О журнале Номера журнала Поиск Правила для авторов  
Главная / Номера журналов /№ 5, 2017

Технические науки
ОПТИМІЗАЦІЯ ТЕХНОЛОГІЇ ВИГОТОВЛЕННЯ ВАРИКАПІВ З ОМІЧНИМИ КОНТАКТАМИ НА ОСНОВІ NI ТА AL
Литвиненко В.М. 1, Волос О.О. 1, Шутов С.В. 2, Самойлов М.О. 2

1. Херсонський національний технічний університет
2. Інститут фізики напівпровідників ім. В. Е. Лашкарьова НАН України

Файл   

Резюме:

Представлені результати дослідження причин деградації зворотних ВАХ варикапних структур при формуванні омічних контактів на основі алюмінію та нікелю. Наведені дані по оптимізації процесів формування алюмінієвого та нікелевого омічних контактів за рахунок використання операцій гетерування структурних дефектів. Приведені технологічні режими створення гетеруючих областей на варикапних структурах DOI: 10.6084/m9.figshare.5687956

Ключевые слова: варикап, гетерування, діодні структури, омічний контакт

Библиографическая ссылка

Литвиненко В.М. 1, Волос О.О. 1, Шутов С.В. 2, Самойлов М.О. 2 ОПТИМІЗАЦІЯ ТЕХНОЛОГІЇ ВИГОТОВЛЕННЯ ВАРИКАПІВ З ОМІЧНИМИ КОНТАКТАМИ НА ОСНОВІ NI ТА AL // Биомедицинская инженерия и электроника. – 2017. – № 5;
URL: www.es.rae.ru/biofbe/214-1148 (дата обращения: 02.05.2024).

Код для вставки на сайт или в блог
Просмотры статьи

Сегодня: 503 | За неделю: 503 | Всего: 878

Комментарии (0)
Сайт работает на RAE Editorial System