Данная работа посвящена исследованию причин низкого процента выхода годных диодов и разработке эффективного технологичного метода геттерирования структурных дефектов в кремнии с целью уменьшения плотности дефектов и повышения выхода годных диодов.
Библиографическая ссылка
Литвиненко В.Н. 1, Дощенко Г.Г. 2, Самойлов Н.А. 3 УЛУЧШЕНИЕ ОБРАТНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК КРЕМНИЕВЫХ ДИОДОВ
ПРИ ИСПОЛЬЗОВАНИИ ГЕТТЕРИРОВАНИЯ ДЕФЕКТОВ // Биомедицинская инженерия и электроника. – 2015. – № 1;
URL: www.es.rae.ru/biofbe/201-987 (дата обращения:
22.12.2024).