Резюме:

Разработана технология изготовления высоковольтных бескорпусных варикапов, обеспечивающая повышение выхода годных приборов за счет уменьшения их обратных токов. Представлены результаты экспериментального исследования влияния четырехслойной защиты р-n перехода варикапа пленками диэлектриков и геттерирования посредством шлифовки обратной стороны пластин на выход годных приборов. Приведены технологические режимы создания геттерирующей области в структуре варикапа и формирования пленок диэлектриков четырехслойной защиты его р-n перехода

Ключевые слова: структурные дефекты, варикап, р-n переход, геттерирование, пленки диэлектриков

Дощенко Г.Г. ², Ивершенко В.А. ¹, Литвиненко В.Н. ¹ ОПТИМИЗАЦИЯ ТЕХНОЛОГИИ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ВЫСОКОВОЛЬТНОГО БЕСКОРПУСНОГО ВАРИКАПА // Биомедицинская инженерия и электроника. – 2014. – № 2;
URL: www.es.rae.ru/biofbe/199-965 (дата обращения: 21.11.2024).

Сегодня: 637 | За неделю: 637 | Всего: 1595

Комментарии (0)