Биомедицинская инженерия и электроника
Электронный научный журнал

Технические науки
ОПТИМИЗАЦИЯ ТЕХНОЛОГИИ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ВЫСОКОВОЛЬТНОГО БЕСКОРПУСНОГО ВАРИКАПА
Дощенко Г.Г. 2, Ивершенко В.А. 1, Литвиненко В.Н. 1

1. Херсонский национальный технический университет
2. Херсонская государственная морская академия

Резюме:

Разработана технология изготовления высоковольтных бескорпусных варикапов, обеспечивающая повышение выхода годных приборов за счет уменьшения их обратных токов. Представлены результаты экспериментального исследования влияния четырехслойной защиты р-n перехода варикапа пленками диэлектриков и геттерирования посредством шлифовки обратной стороны пластин на выход годных приборов. Приведены технологические режимы создания геттерирующей области в структуре варикапа и формирования пленок диэлектриков четырехслойной защиты его р-n перехода

Ключевые слова: структурные дефекты, варикап, р-n переход, геттерирование, пленки диэлектриков


Библиографическая ссылка

Дощенко Г.Г. 2, Ивершенко В.А. 1, Литвиненко В.Н. 1 ОПТИМИЗАЦИЯ ТЕХНОЛОГИИ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ВЫСОКОВОЛЬТНОГО БЕСКОРПУСНОГО ВАРИКАПА // Биомедицинская инженерия и электроника. – 2014. – № 2;
URL: www.es.rae.ru/biofbe/199-965 (дата обращения: 15.04.2024).


Код для вставки на сайт или в блог

Просмотры статьи

Сегодня: 520 | За неделю: 520 | Всего: 1478


Комментарии (0)


Сайт работает на RAE Editorial System