Биомедицинская инженерия и электроника
Электронный научный журнал
Вход в Личный портфель
О журнале Номера журнала Поиск Правила для авторов  
Главная / Номера журналов /№ 2, 2013

Технические науки
ОПТИМИЗАЦИЯ ОЧИСТКИ КВАРЦЕВЫХ ТРУБ В ТЕХНОЛОГИИ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ
Литвиненко В.Н. 1, Дощенко Г.Г. 2, Самойлов Н.А. 3

1. Херсонский национальный технический университет
2. Херсонская государственная морская академия
3. Институт физики полупроводников НАН Украины

Файл   

Резюме:

Исследовано влияние дополнительной обработки кварцевых труб, используемых при диффузии бора, водяным паром на качество их очистки. Показано, что применение разработанного метода очистки кварцевых труб дает возможность существенно повысить эффективность обработки. Приведены оптимальные режимы обработки труб водяным паром.

Ключевые слова: кварцевая труба, водяной пар, очистка, обработка, диффузия, двуокись кремния

Библиографическая ссылка

Литвиненко В.Н. 1, Дощенко Г.Г. 2, Самойлов Н.А. 3 ОПТИМИЗАЦИЯ ОЧИСТКИ КВАРЦЕВЫХ ТРУБ В ТЕХНОЛОГИИ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ // Биомедицинская инженерия и электроника. – 2013. – № 2;
URL: www.es.rae.ru/biofbe/185-927 (дата обращения: 28.04.2024).

Код для вставки на сайт или в блог
Просмотры статьи

Сегодня: 666 | За неделю: 666 | Всего: 1757

Комментарии (0)
Сайт работает на RAE Editorial System